Izolatorë qeramikë të frezuar me 5 akse për pajisje gjysmëpërçuese dhe dhoma të pastra

Në botën e prodhimit të gjysmëpërçuesve dhe mjediseve të dhomave të pastra me rreziqe të larta, çdo komponent duhet të ofrojë performancë të përsosur.PFT, ne specializohemi në punime artizanaleIzolatorë qeramikë të frezuar me 5 akseqë ripërcaktojnë saktësinë dhe besueshmërinë. Me mbi 20+Me vite përvojë, zgjidhjet tona janë projektuar për të përmbushur kërkesat e rrepta të pajisjeve gjysmëpërçuese, duke siguruar stabilitet termik, izolim elektrik dhe funksionim pa ndotje në mjedise ultra të ndjeshme.

Pse të zgjidhni izolatorët tanë qeramikë të frezuar me 5 akse?

1.Aftësi të Avancuara Prodhimi

Objekti ynë është i pajisur memakina frezimi CNC me 5 akse të teknologjisë së fundit, duke mundësuar saktësi në nivel mikroni në formësimin e qeramikës së përparuar si alumina (Al₂O₃), karbidi i silikonit (SiC) dhe nitridi i aluminit (AlN). Ndryshe nga metodat konvencionale, përpunimi me 5 boshte lejon gjeometri komplekse - kritike për komponentë si kunjat e ngritjes së pllakave, pjesët e dhomës së depozitimit dhe izolatorët rezistentë ndaj plazmës.

Karakteristikat kryesore:

•Preciziteti:Tolerancë ±0.005 mm për integrim të përsosur në mjetet e litografisë ASML ose sistemet e gdhendjes Lam Research.
•Shumëllojshmëria e materialit:Optimizuar për 99.8% aluminë, SiC me pastërti të lartë dhe qeramika të tjera të përparuara.
•Përfundimi i Sipërfaqes:Ra <0.2μm për të minimizuar gjenerimin e grimcave në dhomat e pastra të Klasës 1 ISO.

2.Inxhinieri Procesesh Pronësore

Inxhinierët tanë kanë zhvilluarkontrollet e procesit me lak të mbyllurqë përshtaten me brishtësinë e qeramikës gjatë përpunimit. Duke kombinuar teknikat e bluarjes së thatë me zbutjen e dridhjeve në kohë reale, ne arrijmë sipërfaqe pa çarje dhe jetëgjatësi të zgjatur të komponentëve - madje edhe nën cikle termike ekstreme (deri në 1.600°C).

Inovacioni në Qendër të Vëmendjes:

•Protokollet për lehtësimin e stresit:Minimizoni mikro-frakturat në izolatorët AlN për aplikimet CVD.
•Trajtimet pas makinerisë:HIP (presimi i nxehtë izostatik) rrit dendësinë dhe rezistencën ndaj korrozionit.

3.Sigurim i rreptë i cilësisë

Çdo izolator i nënshtrohetInspektim 12-fazor, duke përfshirë:

•CMM (Makina Matëse e Koordinatave)validimi i dimensioneve kritike.
•Testimi i rrjedhjes së heliumitpër pajtueshmërinë me vakumin.
•EDS (Spektroskopia me Rreze X me Shpërndarje të Energjisë)për të verifikuar pastërtinë e materialit.

TonëSistem i çertifikuar ISO 9001/14001siguron gjurmueshmërinë që nga prokurimi i lëndës së parë (me burim nga furnizuesit e Nivelit 1 si CoorsTek) deri te paketimi përfundimtar.

Zbatimet: Ku Preciziteti Takohet me Performancën

Izolatorët tanë janë të besueshëm në:

•Mjete për gdhendje dhe depozitim:Komponentë të veshur me SiC për rezistencën ndaj plazmës në modulet Applied Materials™.
•Implantuesit e Jonit:Kunja ngritëse prej alumini me veshje antistatike për të parandaluar rrëshqitjen e pllakave të aluminit.
•Sistemet e Metrologjisë:Izolatorë me zgjerim të ulët termik për fazat e litografisë EUV.

Studimi i rastit:Një prodhues origjinal i pajisjeve origjinale (OEM) gjysmëpërçuese uli kohën e ndërprerjes së punës së mjeteve me 40% pasi kaloi në kokat tona të dushit SiC të projektuara posaçërisht, të cilat performuan më mirë se pjesët e konkurrentëve në përpunimin e pllakave 300 mm.

Përtej Prodhimit: Një Qasje Partneriteti

•Prototipim i shpejtë:Dorëzoni skedarët tuaj CAD dhe merrni prototipa funksionalë brenda 7 ditësh.
•Paketimi i dhomave të pastra në vend:Montim opsional i dhomës së pastër të Klasit 10 për integrim të drejtpërdrejtë të mjeteve.
•Mbështetje Teknike Gjatë Gjithë Jetës:Inxhinierët tanë ofrojnë shërbime analize të konsumimit dhe ripërpunimi për të zgjatur ciklet e jetëgjatësisë së komponentëve.